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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.21 No.10
발행연도
2007.10
수록면
1,491 - 1,497 (7page)

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There are increasing needs to inspect micro-pattern of flat panel display (FPD) device such as PDP and LCD. The inspection system should be able to measure over large size mother glass with high productivity and accuracy. Stylus profilers are adopted as an inspection system. To scan over large and heavy FPD device specimen, a “tip-scanning” head for stylus profiler is required. A simple method to realize a tip-scanning system is to miniaturize the whole scanning unit. In this study, a novel stylus profiler is proposed as a tip-scanning stylus profiler. The novel stylus profiler has leaf spring instead of conventional lever and pivot. To measure position of stylus an optical senor is used. Linear variable differential transformer is applied to feed-back scanning stage displacement. The stage is actuated by a voice coil motor (VCM). Target performances of the stylus profiler head are in the stroke over 20 μm with high accuracy. Specifications of xy-scanning stage are over 250 μm×250 μm and high bandwidth over 20 Hz. The magnetic and elastic characteristics of the mechanism are designed based on finite element (FE) analysis. After fabrication of the head and stage, they are integrated. Current amplifier and feedback controller are also developed. The performance of the stylus profiler is also validated by inspecting standard sample.
#Stylus profiler #Tip scanning #Scanning stage #Leaf spring

목차

Abstract
1. Introduction
2. Conventional stylus profiler
3. Novel stylus profiler
4. Experimnets and results
5. Conclusions
Aknowledgement
References

참고문헌 (3)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Com-parison of surface roughness measurements by stylus profiler 190 : 76 ~ 88 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1992 / Foundation of Ultraprecision Mechanism Design University of Warwick Private communication with CeBT Inc google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / The Design and Test of Ultra-preci-sion XY stage Using Leaf Spring Mechanism and Voice Coil Motor google schola

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