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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.21 No.10
발행연도
2007.10
수록면
1,739 - 1,744 (6page)

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Photo resist thin films have mainly been used and investigated for versatile applications of micro electronic mechanical systems because of its outstanding aspect ratio and attainable film thickness. An accurate structure properties derived from validated material characterization is required in engineering applications. In this work, dynamic responses of photo resist thin films are tested by a nanoindentation in association with a dynamic mechanical analysis, where the thin film is coated on a silicon wafer by spin coating. The results show that the storage modulus of the photo resist thin film remains constant at the beginning and then increases as the indentation depth increases. Meanwhile, the loss modulus increases as the indentation depth increases. Varying the film thickness shows that the substrate effect plays an important role in determining the dynamic properties of thin films. However, the results agree well with the bulk material when the amplitude of nanoindentation is relatively small. It illustrates the dynamic mechanical analysis can be an efficient method to characterize the viscoelastic properties of thin films, but proper attention on the test parameters is needed.
#Thin films #Photo resist #Dynamic responses #Nanoindentation

목차

Abstract
1. Introduction
2. Fabrication of photo resist thin films
3. Nanoindentation
4. Dynamic mechanical analysis
5. Results and discussion
6. Conclusions
7. Acknowledgements
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Fabrication and investigation of in-plane compliant SU8 structures for MEMS and their application to micro valves and micro grippers 97 : 457 ~ 461 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Theory of nanoindentation creep controlled by interfacial diffusion 48 : 1475 ~ 1481 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Nanoindentation and nanoscratch testing of uniaxially and biaxially drawn poly(ethylene terephthalate) film 43 : 319 ~ 327 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / A dynamic indentation method for characterizing soft incompressible visco-elastic materials 379 : 334 ~ 340 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2007 / Micro-mechanical testing of SiLK by nanoindentation and substrate curvature tech-niques 47 : 248 ~ 251 google schola

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