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    Thermopile is widely used in a micro heat flux sensor, a thermo-generator, and a micro calorimeter. Conventional MEMS-type thermopiles are realized directly on a silicon wafer, which results in increased heat capacity. This is obviously not good for a highly sensitive thermopile. In this study, an elevated thermopile has been realized with an elevated structure on a silicon substrate to reduce parasitic heat loss. The elevated thermopile arrays are composed of 20 couples, and sensitivity was <SUP>***</SUP> ㎷/K. The sensitivity is a higher value than that of general thermopiles.
    #Thermopile(열전대) #Elevation(공중부양) #Seebeck effect(시백효과) #MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)

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