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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
3,165 - 3,168 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2007

반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 절감
유경훈 공기청정기술 2007.01 학술저널

2006

반도체 클린룸용 에어와셔의 수증기 응축에 의한 화학오염물 제거성능 개선 실험
유경훈 ,  여국현 ,  박상태 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

2005

반도체 클린룸용 에어와셔 시스템의 열회수 및 가스제거 실험
유경훈 ,  여국현 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2005.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 에어와셔 시스템의 열회수 실험
유경훈 ,  여국현 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료
반도체 클린룸에서의 실내 수분무 가습기술
유경훈 공기청정기술 2005.01 학술저널

2003

에어와셔를 이용한 가스상 오염물 제거 및 열회수 기술
유경훈 공기청정기술 2003.01 학술저널

초록· 키워드

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In recent semiconductor manufacturing clean rooms, air washers are used to remove airborne gaseous contaminants such as NH₃, SOx and organic gases from outdoor air introduced into clean room. Meanwhile, there is a large quantity of exhaust air from clean room. It is desirable to recover heat from exhaust air and use it to reheat outdoor air. In the present study, an experiment was conducted to investigate heat recovery efficiency of a heat recovery type air washer system.
#Air Washer(에어와셔) #Heat Recovery(열회수) #Heat Exchanger(열교환기) #Chemical Contaminants(화학오염물) #Wet Scrubber(세정집진기)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 개요
3. 실험 장치 및 방법
4. 실험결과 및 검토
5. 결론
후기
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