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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험장치
3. 실험방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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전자척에서 자속밀도 해석에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1992 .06
Theoretical Analysis of Magnetic Flux Density Distribution in an Electro-Magnetic Chuck
KTS International Journal
2001 .12
연삭기용 직각 전자척의 자력특성에 관한 연구
한국생산제조학회지
2005 .12
CNC 선반용 알루미늄 파워척의 신뢰성 평가에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
경량화를 고려한 CNC 선반용 알루미늄 파워 척의 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .02
공작기계용 Chucking System의 안정성에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
연삭기용 직각 전자척의 자력특성에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2003 .04
공작기계용 하이브리드 직각 마그네틱척의 자력특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .07
반도체 후공정용 Porous Chuck의 구조해석에 관한연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2013 .05
세라믹 유전체 물질과 냉매 유로 형상에 따른 정전척 냉각에 관한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
선반용 급속 교환 파워 척의 구조해석 및 성능평가
한국공작기계학회지
1999 .10
절삭력에 의한 연삭기 척(Chuck)의 변형량에 관한 기초연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .04
반도체용 Electro Static Chuck 모재 후보의 기계적 특성 평가
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2010 .10
크랭크 레버형 평행개폐 공기압 척의 신뢰성 분석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2007 .11
공구연삭기용 고정밀 Auto Chucking System 개발에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
광섬유를 위한 실리콘 V-홈 Vacuum Chuck ( Silicon V Groove Vacuum Chuck for Optical Fiber )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
반도체 기판 교차 파지 방법
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
양방향성 형상기억합금을 이용한 공작물 척킹장치 : 유용성 검증
한국생산제조학회지
2009 .10
웨이퍼 장착을 이용한 다이싱 척의 평탄도 평가 방법에 관한 연구
한국생산제조학회지
2008 .06
각도 분할이 가능한 인덱스 척 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
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