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한국생산제조학회 한국공작기계학회지 한국공작기계학회지 제9권 제5호
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96 - 102 (7page)

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초록· 키워드

Spinning mechanism is generally used in coating process on grass plates. Rebounding PR(Photo Resist) which leads to occur inferiority of coating process is caused by vibrational energy of whole coating system. In this study, the sensitivity analysis is performed to analyze and reduce vibrational terms in the spin coating system. The sensitivity analysis is bared on the numerical expression of this system. By the bond graph method, power flow of each system is represented by some basic bond graph elements. Any energy domain system is modeled using the unified elements. The modelled spin coater system is verified with power spectrum data measured by FFT analyzer. As the results of verifying model parameters and sensitivity analysis, principal factors causing vibration phenomenon are mentioned. A study on vibration reduction method in the spin coating system is discussed.
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목차

  1. Abstract
  2. 1. 서론
  3. 2. 스핀 코터의 모델링
  4. 3. 실험 및 검증
  5. 4. 민감도해석
  6. 5. 결론
  7. 후기
  8. 참고문헌
  9. Appendix : Bond Graph

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