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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
63 - 68 (6page)

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We present the multi-functional nanomachining tool based on a Scanning Probed Microscopy(SPM) and a confocal microscope. Using this system, various scale patterning and measurement is demonstrated such as sub 100㎚ oxide patterning on silicon wafer, near-field optical measurement, nanotube confocal Raman spectroscopy and so on. A high-resolution confocal microscope combined with an SPM enabled us to deal with the nanoscale structure and materials very efficiently.
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목차

Abstract
1. 서론
2. 융합시스템
3. 패터닝 및 측정
4. 결론
후기
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