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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제17권 제6호
발행연도
2007.12
수록면
221 - 225 (5page)

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Co?₃Pt₂?-TiO₂ 수직자기 기록매체에 대해 집속이온빔(FIB)을 이용한 Ga<SUP>+<SUP> 이온 조사에 따른 자기적 특성의 변화를 조사하였다. Ga<SUP>+<SUP> 이온 도즈량을 1×10¹? ions/㎠에서 30×10¹? ions/㎠까지 증가시켰을 때 도즈량 20×10¹? ions/㎠ 이상에서 수직자기이방성 및 강자성 특성이 사라지는 것이 관찰되었으며, 이는 스퍼터링 효과에 따른 수직자기 기록층의 두께 감소보다는 Ga<SUP>+<SUP> 이온 주입에 따른 수직자기 기록매체내의 조성 분포의 변화에 따른 것으로 보인다. Ga<SUP>+<SUP> 이온 조사법을 이용하여 70×70 n㎡, 100×100 n㎡ 크기의 자기구조체 패턴을 형성하였다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (1)

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