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단일모드 광섬유를 이용한 수소센서의 특성을 이론 및 실험으로 분석하였다. 검출 소재로 팔라듐(Pd:palladium) 필름을 이용하였고 광섬유와 Pd 사이의 접착력을 강화하기 위해 니켈(Ni) 필름을 사용하였다. 제작된 센서의 반응감도와 반응시간은 팔라듐 박막의 두께에 크게 의존하였다. 단일모드 광섬유 끝단에 접착층으로 5 ㎚ 두께의 Ni 박막과 감응막으로 10 ㎚ 두께의 Pd가 코팅된 센서는 0.6 ㏈의 반사도의 변화와 3~5초의 반응시간을 보였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Pd 박막의 광학적 성질
Ⅲ. 소자 구조 및 광학적 특성
Ⅳ. 광섬유 센서의 제작 및 특성 측정
Ⅴ. 수소 누출 경보 시스템의 구현
Ⅵ. 결론
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