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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제23권 제6호
발행연도
2007.12
수록면
298 - 300 (3page)

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Frictional characteristics of mesoporous SiO₂ thin films were evaluated with different pore sizes. The films were manufactured by sol-gel and self-assembly methods to have a porous structure. The pores on the surface may play as the outlet of wear particle and the storage of lubricant so that the surface interactions could be improved. The pores were exposed on the surface by chemical mechanical polishing (CMP ... 전체 초록 보기
#mesoporous silica films #friction #ball-on-disk #CMP #plasma etching #sol-gel method #self-assembly method #surfactants #F127 #CTABr

목차

Abstract
1. 서론
2. 메조포러스 박막의 제조 및 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
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