연성 인쇄 회로 기판을 이용한 초고주파 MEMS 송신기 연구

명성식; 김선일; 정주용; 육종관

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자료유형: 학술저널

저자정보: 명성식 김선일 정주용 육종관

저널정보: 한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌第19卷第1號

발행연도: 2008.1

수록면: 61 - 70 (10page)

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본 논문에서는 멤스 기술의 하나인 연성 인쇄 회로 기판을 이용하여 임의의 형태로 변형이 가능한 초고주파 멤스 송신기를 제안하였다. 연성 인쇄 회로 기판은 그 무게가 가볍고 두께가 얇아 경량 소형화 모듈을 만드는데 유리한 장점이 있다. 또한, 연성 인쇄 회로 기판은 종이와 같이 유연한 특성을 가지고 있어 평면이 아닌 임의의 곡면 등에 실장할 수 있는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 근거리 센서 네트워크 구성을 위한 직교 주파수분할 다중 전송 방식을 위한 선형 무선 송신기를 설계 제작하였다. 송신 모듈의 능동 회로는 전력효율이 높고 선형성이 우수하여 전력 증폭기에 많이 사용되고 있는 InGaP/GaAs HBT 공정을 사용하여 설계 및 제작하였으며, 매칭 회로 및 필터 등의 수동 회로는 연성 인쇄 회로 기판에 직접 집적화하여 제작하였다. 제작된 멤스 송신기는 EVM 특성을 통하여 시스템 성능을 분석하였다.

#Flexible Printed Circuit Board #Micro-Electro-Mechanical System #InGaP/GaAs HBT #Transmitter #Orthogonal Frequency Division Multiplexing #Integration

참고문헌 (13)

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1. [학술지(정기간행물)] - Eun-Soo Hwang / 2003 / Flexible polysilicon strain gauge / Japanese Journal of Applied Physics 42 (7B) : 810 ~ 813

2. [학술대회논문] - K. Noda / 2006 / Fabrication of the flexible sensor using SOI wafer by removing the thick silicon layer / 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : 122 ~ 125

3. [학술대회논문] - Wang Peng / 2003 / A novel flexible sensor for compression stress relaxation / Proceedings of IEEE Sensors : 265 ~ 268

4. [학술지(정기간행물)] - Fabrice Axisa / 2005 / Flexible technologies and smart clothing for citizen medicine, home healthcare, and disease prevention / IEEE Transactions on Information Technology in Biomedicine 9 (3) : 325 ~ 336

5. [학술지(정기간행물)] - Seong-Sik Myoung / 2005 / Low-phase- noise and high-efficiency MMIC VCO based on InGaP/GaAs HBT with the LC filter / Microwave and Optical Technology Letters 44 (2) : 123 ~ 126

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