펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈; 이주홍; 김필기; 석종혁; 오병준; 석종원

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이성훈 이주홍 김필기 석종혁 오병준 석종원

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.6

발행연도: 2008.6

수록면: 13 - 19 (7page)

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2008

극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화

이성훈 , 석종원 , 김필기 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.09 학술저널

펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈 , 이주홍 , 김필기 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈 , 이주홍 , 김필기 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.06 학술저널

2007

극저온 CO₂세정에서의 파티클 충돌 메커니즘에 대한 동적 해석

이성훈 , 김필기 , 오병준 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

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