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As technology advances, there is a demand for development of hard solid lubricant coating. (Ti,Cr,Zr)N-MoS₂ films were deposited on AISI H13 tool steel substrate by co-deposition of MoS₂ with (Ti,Cr,Zr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The influence of the N2/Ar gas ratio, the amount of MoS₂ in the films and the bias voltage on the mechanical and structural properties of the films were investigated. The highest hardness level was observed at the N₂/Ar gas ratio of 0.3. Hardness of the films did not change much with the increase of the MoS₂ content in the films. As the substrate bias potential was increased, hardness level of the film reached maximum at ?150 V. Surface morphology of these films indicated that high hardness was attributed to the fine dome structure
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Detail
3. Results and Discussion
4. Conclusion
Acknowledgement
References
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