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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.13 No.2
발행연도
2008.6
수록면
53 - 56 (4page)

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This study proposes a simple nano-patterning process for the fabrication of magnetic nanodot arrays on a large area substrate. Ni nanodots were fabricated on a large area (4 inches in diameter) Si substrate using the soft lithographic technique using self-assembled surface micelles of Polystyrene-block-Poly(methyl methacrylate) (PS-b-PMMA) diblock copolymer formed at the air/water interface as a mask. The hexagonal array of micelles was successfully transferred to a Ni thin film on a Si substrate using the Langmuir-Blodgett technique. After ion-mill dry etching, a magnetic Ni nanodot array with a regular hexagon array structure was obtained. The Ni nanodot array showed in-plane easy axis magnetization and typical soft magnetic properties.

목차

1. Introduction
2. Experiments
3. Results and Discussion
4. Conclusion
Acknowledgement
References

참고문헌 (6)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-428-014797449