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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.11
- 수록면
- 272 - 274 (3page)
이용수
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In this paper, we concentrate on the mask design problem for optical micro-lithography. The pre-distorted mask is obtained by minimizing the error between the designed output image and the projected output imag ... 전체 초록 보기
목차
요약
1. 서론
2. 알고리즘 및 실험방법
3. 결론
참고문헌
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