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자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제34권 제5호
발행연도
2001.10
수록면
384 - 390 (7page)

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목차

Abstract
1. Introduction
2. Description of the MHCD Plasma Source
3. Performance of the MHCD
4. Source Variants
5. Summary and Conclusion
References

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