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This paper describes a fast tool control (FTC)-based diamond turning process for fabricating large-area high-quality micro-lens arrays. The developed FTC unit has a stroke of 48 ㎛ and a resonance frequency of 4.9 kHz. Micro-lens arrays were fabricated using a micro-cutting tool with a nose radius of 50 ㎛. The FTC unit was integrated 'with a force sensor so that the initial position of the micro-cutting tool with respect 10 the workpiece surface could be detected through monitoring the contacting force. The length and depth of the designed parabolic micro-lens profile were 190 ㎛ and 20㎛, respectively. A micro-lens array was fabricated on a cylinder surface over an area of φ 55 ㎜ × 40 ㎜.

목차

1. Introduction
2. The FTC unit
3. Fabrication of the micro-lens array
4. Conclusions
REFERENCES

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