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Nitrogen and aluminum codoped ZnO (NAZO) thin films were grown on glass substrates with changing the nitrogen flow ratio by radio-frequency magnetron sputtering. The structural, optical, and electrical properties of the NAZO films were investigated. The surface morphologies and the structural properties of the thin films were analyzed by using the X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The NAZO thin film, deposited at nitrogen flow ratio of 0%, showed a strongly c-axis preferred orientation and the lowest resistivity of 3.2×10?³ Ω㎝. The intensity of ZnO (002) diffraction peak was decreased gradually with increasing the nitrogen flow ratio. The optical properties of the films were measured by UV-VIS spectrophotometer and the optical transmittances for all the samples were found to be an average 90% in the visible range. Based on the transmittance value, the optical bandgap energy for the NAZO thin film deposited at nitrogen flow ratio of 0% was determined to be 3.46 eV. As for the electrical properties, the carrier concentration and the hall mobility were decreased, but the electrical resistivity was increased as the nitrogen flow ratio was increased.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - M. L. Tu / 2006 / / J. Appl. Phys 100
2. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kang / 2006 / / Appl. Phys. Lett 88
3. [학술지(정기간행물)] - A. V. Singh / 2004 / / J. Appl. Phys 95 : 3640 ~
4. [학술지(정기간행물)] - 박이섭 / 2007 / DC마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO박막의 특성 / 한국표면공학회지 40 (3) : 107 ~ 112
5. [학술지(정기간행물)] - 이성훈 / 2006 / ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소유량비의 영향 / 한국표면공학회지 39 (6) : 250 ~ 254
2. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kang / 2006 / / Appl. Phys. Lett 88
3. [학술지(정기간행물)] - A. V. Singh / 2004 / / J. Appl. Phys 95 : 3640 ~
4. [학술지(정기간행물)] - 박이섭 / 2007 / DC마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO박막의 특성 / 한국표면공학회지 40 (3) : 107 ~ 112
5. [학술지(정기간행물)] - 이성훈 / 2006 / ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소유량비의 영향 / 한국표면공학회지 39 (6) : 250 ~ 254
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