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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
56 - 60 (5page)

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This paper presents the micro positioning/tilting system with flexure. The basic principle and the operation mechanism were introduced. The micro positioning system consists of a moving platform, three piezoelectric actuators, damper and flexure hinges. The flexure hinges which are beam hinge, spherical notch joint, wide range hinge are designed and fabricated. The FEM simulation was used to design and optimize the flexure hinges mechanism. Form the result of FEM simulation we fabricated the micro position system by CNC machine and WEDM with the material of SUS 304. To evaluate the performance of the fabricated micro positioning system, the output displacement of the moving plate in vertical direction was measured and tested.
#Micro positioning #PZT actuator #Flexure hinge #Compliant mechanism #Preload #Finite Element Method

목차

Abstract
1. 서론
2. PZT 액츄에이터
3. 미세정렬 시스템의 설계
4. 미세정렬 시스템의 제작
5. 결론
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