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CO₂ 가스 클러스터 건식세정 중에 노즐내부에서의 클러스터 생성
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
Scheduling of multi-slot cluster tool with cleaning process
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2016 .04
레이저 충격파 클리닝 공정에서 음향 모니터링에 관한 연구
한국레이저가공학회지
2003 .01
극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .09
수영장 청소 로봇 개발 및 청소성능지표
로봇학회 논문지
2012 .12
레이저 세정기술을 이용한 웨이퍼의 표면세정
한국액체미립화학회지
2007 .01
산업배관의 이물질 청소를 위한 배관청소로봇의 개발
로봇학회 논문지
2017 .03
Wafer Position Recognition in Wafer Cleaning Equipment
한국멀티미디어학회 국제학술대회
2009 .08
신개념 태양전지 세정용 오존마이크로 버블에 관한 연구
전기학회논문지
2012 .01
레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
공기주입과 스와빙 피그를 이용한 상수관로 세척 효과 평가
상하수도학회지
2015 .01
이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발
한국재료학회지
2014 .01
음향 세척 장치의 음파 검출을 위한 무선 센서 개발
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
전리수를 이용한 반도체 세정 공정
한국반도체장비학회지
2003 .01
고효율 수중청소로봇 플랫폼 기술 개발
동력시스템공학회지
2017 .06
250~500A 배관 내부 청소를 위한 로봇의 개발
동력시스템공학회지
2018 .10
Enzymatic Cleaning of Ultrafiltration Membrane Fouled with a Semi-synthetic Type Cutting Oil
Korean Membrane Journal
2000 .01
차세대 반도체 표면 클리닝 기술들의 특성 및 전망
한국레이저가공학회지
2001 .01
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