인문학
사회과학
자연과학
공학
의약학
농수해양학
예술체육학
복합학
DBpia AI
AI 에이전트
AI 아이디어
AI 리더
AI 뷰어
Citeasy
크롬 서지관리 다운로드
개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
피인용 0
초록·키워드
Displays based on flexible plastic substrates are emerging technologies with potential applications to foldable and wearable display. When compared to glass substrate, plastic substrates offer the advantages of low cost, lightness and flexibility. However, the moisture resistance of plastic substrates is low. The permeation of water vapor and oxygen through a plastic substrate causes chemical change in active layers in a display unit, resulting in damage or malfunction of flexible displays. Many researchers studied on barrier films based on polyethylene terephthalate, but reports on the characteristics of barrier films on the polyethylene naphthalate(PEN) and polyethersulfone (PES) are very rare. In this study, silicon oxynitride films deposited on PEN and PES substrates by ion beam assisted deposition techniques have been investigated for water vapors permeation barrier applications. Also, effects of plasma treatments on the plastic substrates have been investigated. silicon oxynitride thin films were prepared, using ion beam assisted electron beam evaporation method, at room temperature with varying of reactive gas N₂ flow rate. We used the SiO powder pellet as evaporation source material. The same deposition rate were used to deposit all silicon oxynitride films with the same thickness of 70 nm. The struc ... 전체 초록 보기
본문·목차
인공지능 문자 인식 모델을 통해 추출된 텍스트로, 일부 오타나 오류가 포함될 수 있으나 지속적으로 개선 중입니다.
오류를 발견하셨다면 해당 부분을 드래그한 후 ' 를 통해 신고해주세요.
오류를 발견하셨다면 해당 부분을 드래그한 후 ' 를 통해 신고해주세요.
최근 본 자료 전체보기
