EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA

한국표면공학회지

1999 .06

LOW TEMPERATURE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

Diamond Synthesis on HPHT Diamond Substrate Using Microwave Plasma CVD

Masataka Yoshiha ,  a ,  Yukihi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

폴리 실리콘 위에서 나노결정질 다이아몬드 박막 성장

김선태 ,  강찬형

한국표면공학회지

2017 .10

Growth and In-situ Sulfur Doping to Diamond Thin Films in a Microwave-plasma Chemical Vapor Deposition

Yoshitaka Mitsuda ,  Kenji Nose

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Preparation of B-doped diamond using mode-conversion type microwave plasma CVD

Yukihi ,  o Sakamoto

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

NITROGEN DOPED DIAMOND LIKE CARBON FILM SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CVD

Ryoichi URAO ,  Osamu HAYATSU ,  Toshihi 외 2명

한국표면공학회지

1996 .10

마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과

김인섭 ,  강찬형

한국표면공학회지

2013 .02

ADHESION STRENGTH OF DIAMOND COATED WC-Co TOOLS USING MICROWAVE PLASMA CVD

Nobumichi KIYAMA ,  Yukihi ,  o SAKAMOTO 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Microwave Plasma Process에 의한 N-Hexane으로부터 다이아몬드 박막제작 및 특성

한상보 ,  권태진 ,  박상현 외 2명

조명·전기설비학회논문지

2011 .04

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie-Young Choi ,  Byung-Ki Sohn

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie Young Choi ,  Byung Ki Sohn

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

A Study of cBN-Diamond Multi Layer Hard Coating Deposition on Insert Tool

Tae-Gyu Kim ,  Chang-Goo Jung ,  Jin-Ho Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06