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1. 서론
2. 설계 및 해석
3. 제작
4. 측정
5. 결론
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참고문헌
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표면자장이 RIE에 미치는 영향 ( The Effects of a Surface Magnetic Field on RIE )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
RIE Damage에 의한 산화지연효과 및 후처리 기술 ( Oxidation Retardation Phenomenon Due to RIE Damage and It`s Post-RIE Treatment )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
Fabrication of micro gas sensor using Si deep RIE process
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
O₂ RIE 공정을 이용한 20㎛ 두께의 폴리이미드 마이크로 구조물의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구 ( A Study on the Electrical Properties of GaAs Surface After RIE Process )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
MEMS 디바이스의 마모 특성에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies
한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium
2004 .01
실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1998 .01
생산기술로서의 MEMS
기계저널
2009 .03
MEMS 기술의 소개 및 응용
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
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