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한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제23권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
169 - 175 (7page)

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본 실험에서 자계중성방전 스파트링 시스템으로 균일한 산화 몰리브덴 박막을 얻을 수 있었다. 한편, 열처리 조건에 따라 박막의 제반특성은 XRD, XPS 및 SEM 등으로 고찰되었다. 기판의 열처리 온도에 따라 결정성장배향이 (100)에서 (210)으로 변함으로써, 박막의 결정성이 향상되었으며, 박막의 구조는 치밀해졌다. 광전자 Mo3d의 XPS 피크치는 결합에너지 228.9[eV)과 232.4[eV]에서 검출되었지만, Ols 피크치는 532.6[eV)였다. 서지 전압으로 방전시험은 연속적으로 10회 수행되었다. 전류-전압 특성곡선으로부터, 400[V)의 전압이 인가된 상태에서 시료의 초기 및 평균 저항치는 1.4[㏁)과 800[㏀]이었다.
#Magnetic Null Discharge #tv10lybdeum Oxide #Electron Heating #Erosion #Arrester #Uniform Process

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 이론
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
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