PDMS를 이용한 마이크로 구동기의 제작 및 평가

이동원; 박종성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이동원 박종성

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제7권 제2호

발행연도: 2008.6

수록면: 72 - 77 (6page)

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In this study, we propose and develop PDMS-based modular actuators. The microactuator which looks like a small insect uses thermal expansion power of the PDMS (polydimethylsiloxane; sylgar®184 silicone elastomer). The PDMS-based microactuator provides a large displacement due to a high thermal expansion coefficient (approximately 310ppm). The microacruator with 1㎜ length 350 ㎛ width is optimized by using a numerical analysis. The shape of the PDMS actuatoris variously designed. They are placed at several positions to find the optimal position that provides a high transformation ratio. The PDMS-based microactuators are fabricated using a conventional micromaching technique. The fabricated microactuator is heated using a hot-plate. The actuator displacement is measured as a function of temperature from 27℃ to 300℃. The experimental results are compared to the simulation result. When heating temperature up to 300℃ is applied to the PDMS actuator, each V-groove-shaped joint is actuated 30 μ mat 300℃. Anotherdesign of the microactuator has a maximum displacement of about 656㎜.

#PDMS #Actuator #Thermal expansion

참고문헌 (6)

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1. [단행본] - Gregory T.A. Kovacs / 2000 / Micromachined transducers sourcebook / McGraw-Hill : 289 ~ 294

2. [학술지(정기간행물)] - T. Ebefors / 2000 / A robust micro conveyer realized by arrayed polyimide joint actuators / J. Micromech. Microeng 10 : 337 ~ 349

3. [학술대회논문] - S. I. chang / 2005 / Fabrication of microlens array by using a new diffuser lithography and its characterization / The 7th Korean MEMS conference : 363 ~

4. [학술지(정기간행물)] - J. Garra / 2002 / Dry etching of polydimethylsiloxane for microfluidic systems / J. Vac. Sci. Technol A20 (3) : 975 ~ 982

5. [학술지(정기간행물)] - D. W. Lee / 2002 / MEMS-based modular actuator for capsular endoscope applications / Microelectronic Eng 84 : 1278 ~ 1281

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