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Generally optical components are fabricated by grinding, lapping and polishing processes. Those processes take long time to obtain optical high surface quality. In the case of large optical components, the on-machine measurement is strongly recommended because the workpiece is fragile and difficult to set up for fabricating and measuring. This paper is concerned about a swing-arm mechanism which can be used for on-machine measurement of a surface profile with a sensing probe end-effect, and also for grinding or lapping the surface with a corresponding tool. The measuring accuracy and uncertainty using a swing arm type profilometer have been studied. The experimental results show that this method is useful specially in lapping process with the accuracy of 5㎛. Those inspection data are provided for correcting the residual figuring error in next processes.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 스윙암 메카니즘
3. 스윙암 측정기의 오차해석
4. 실험
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (7)
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1. [학술지(정기간행물)] - 홍정희 / 2005 / On-Machine 구면기준 Shack-Hartmann 장치를 이용한 대형 반사경의 가공 정밀도 연구 / 대한기계학회논문집 A 29 (5) : 726 ~ 733
2. [학술지(정기간행물)] - Ho Soon Yang / 2001 / Development of Prototype Stylus Profilometry for Large Optics Testing / Journal of the Optical Society of Korea 6 (2) : 60 ~ 66
3. [단행본] - David Williamson / 1999 / Asphere in Microlithography, in Fabrication and Testing of Aspheres / Optical Society of America : 8 ~ 16
4. [학술지(정기간행물)] - David Walker / 2003 / Novel hybrid stylus for nanometric profilometry for large optical surface / Optics Express 11 (15)
5. [단행본] - 유승봉 / 2000 / 비구면 렌즈의 형상측정을 위한 접촉식 프로브 개발 / 한굴정밀공학회 춘계학술대회 : 1 ~ 2
2. [학술지(정기간행물)] - Ho Soon Yang / 2001 / Development of Prototype Stylus Profilometry for Large Optics Testing / Journal of the Optical Society of Korea 6 (2) : 60 ~ 66
3. [단행본] - David Williamson / 1999 / Asphere in Microlithography, in Fabrication and Testing of Aspheres / Optical Society of America : 8 ~ 16
4. [학술지(정기간행물)] - David Walker / 2003 / Novel hybrid stylus for nanometric profilometry for large optical surface / Optics Express 11 (15)
5. [단행본] - 유승봉 / 2000 / 비구면 렌즈의 형상측정을 위한 접촉식 프로브 개발 / 한굴정밀공학회 춘계학술대회 : 1 ~ 2
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