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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
451 - 452 (2page)

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#Air bearings #Vacuum #Pressure rise #Movement #Linear table #Rotary table

목차

1. 서론
2. 공기베어링 구동시 발생하는 압력증가 현상 분석
3. 결론
참고문헌

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