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이용수
1. 서론
2. 실험방법 및 측정
3. 결론
후기
참고문헌
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마찰구동에 의한 초정밀 이송 ( Ultra-Precision Positioning by Friction Driving )
대한기계학회 춘추학술대회
1993 .01
진공환경용 공기베어링의 Leakage 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
진공용 나노스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2004 .04
마찰구동기구에 의한 초정밀위치결정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1992 .10
초정밀 미세형상 가공기 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
UPCU의 초정밀위치결정에 따른 가공정밀도 향상에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
진공기술
전기의세계
1988 .07
초정밀 FTS 시스템을 이용한 CNC Lathe 스핀들 이송오차 보상 및 가공정밀도 향상
Tribology and Lubricants
2011 .02
제동 장치 진공 배력 시스템의 운전부하 측면 평가 방안 연구
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2017 .11
초정밀 5 축 가공기의 형태에 따른 성능해석 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
초정밀 위치 결정 시스템
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
초정밀 가공을 위한 나노 제어급 머신 개발
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
전자빔 미세홀 가공용 고정밀 진공 스테이지 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
전자빔 미세홀 가공용 고정밀 진공 스테이지 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
구조해석을 통한 초정밀 가공기의 설계 개선
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
초정밀 가공기 내부의 환경제어를 위한 실험적 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
초정밀 가공기를 위한 단열챔버 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
우리나라 초정밀가공기술의 기초연구동향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .10
초정밀 가공기의 정밀도 향상을 위한 환경제어장치 개발연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
구조해석을 통한 5 축 초정밀가공기의 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
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