복합기능 전극을 이용한 미세 전해가공

신홍식; 김보현; 김규만; 정도관; 주종남

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신홍식 김보현 김규만 정도관 주종남

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제33권 제5호

발행연도: 2009.5

수록면: 496 - 501 (6page)

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In micro electrochemical machining(micro-ECM), it is important to measure and control the potential of a tool electrode and a workpiece electrode because electrochemical reaction rate depends on the potential of the electrodes. When the electrode potential was measured against a reference electrode, the error of measured electrode potential could be minimized by proper tool electrode design. In this paper, multi-function electrodes consisting of a tool electrode and a reference electrode was fabricated by micro fabrication techniques. The machining conditions in micro-ECM using multi-function electrodes, such as pulse voltage parameters and electrode potential, were investigated.

#Micro Electrochemical Machining(미세 전해가공) #Multi-Function Electrode(복합 기능전극) #MEMS(미세전자 기계 시스템)

참고문헌 (8)

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1. [학술지(정기간행물)] - Datta, M. / 2000 / Fundamental Aspects and Applications of Electrochemical Micro Fabrication / Electrochimica Acta 45 : 2535 ~ 2558

2. [학술지(정기간행물)] - Schuster, R. / 2000 / Electrochemical Micromachining / Science 289 : 98 ~ 101

3. [학술지(정기간행물)] - Kirchner, V. / 2001 / Electrochemical Machining of Stainless Steel Microelements with Ultarashort Voltage Pulses / Applied Physics Letters 79 (11) : 1721 ~ 1723

4. [학술지(정기간행물)] - 김보현 / 2005 / 디스크 전극을 이용한 미세 전해 밀링 가공에서의 테이퍼 형상 방지 / 한국정밀공학회지 22 (4) : 167 ~ 172

5. [학위논문] - Park, B. J. / 2006 / Effects of Tool Electrode Size on Micro Electrochemical Machining Using Ultra Short Pulses / 박사 / Seoul National University

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