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자동 광검사 장비의 검사 영상 획득과정을 전산모사하는 시뮬레이터를 개발하였다. 시뮬레이터는 광선 추적법을 기반으로 조명 광학계, 검사 대상체 및 결상 광학계의 3가지 모듈로 구성하였다. 각 모듈이 갖는 광학적 특성을 실제와 일치시키기 위해, 다양한 물리적 모델과 실측 결과를 반영하여 주요 인자들의 종류와 범위를 결정하였다. 전산모사 결과의 타당성은 논리적인 검증과정과 실험 결과와의 비교를 통해 확인할 수 있었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 자동 광검사 시뮬레이터의 구성 및 이론
Ⅲ. 조명 광원 및 제품의 속성인자 설정 과정
Ⅳ. 전산모사 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
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