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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 193 - 198 (6page)
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We present the concept of scanning force microscopy cantilevers with large deflection and ultra slope at the free end of the lever arm and pure single crystal silicon property exclusion of any types of surface deposition, which are realized through the new actuation mode. This novel cantilever bending actuation mode is firstly proposed totally differing from all of the conventional modes, the out of plane motion of the cantilever is achieved by integrated pre-bent cantilever with in-plane interdigitated comb-drive actuators, the horizontal comb-drive actuator actuation could be transferred to the pre-bent cantilever as a bend moment hence the in-plane actuation of the actuators offer the out of plane actuation for the cantilever.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Principal Mechanism
3. Design
4. Fabrication and Numerical Analysis
5. Conclusions
Acknowledgmentsq
References
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