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Improvement of Nanosphere Lithography Using Nano Template 나노 템플릿을 이용한 나노구체 리소그라피 개선

논문 기본 정보

저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
수록면
214 - 215 (2page)
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Improvement of Nanosphere Lithography Using Nano Template
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    초록·키워드

    Nanosphere lithography has been studied as a general fabrication method to produce periodic particle array with nanometer scale features. This paper presents the first sub-100 ㎚ nanosphere lithography (NSL) with an optimized spin coating condition and a nano template structure. The spin coating c ... 전체 초록 보기
    #Nanosphere lithography(나노구체 리소그라피) #Nanoimprint lithography(나노임프린트 리소그라피) #Nano patterning(나노 패터닝)

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