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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
239 - 244 (6page)

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We present an experimental study on the resolution of inkjet-printed fine patterns deposited on polyimide substrate. We are particularly concerned with the effect of plasma surface polymerization on the drop diameter and uniformity deposited on the substrate. DOE (Design of Experiments) technique was used to investigate the statistically significant variables among five process variables such as plasma power, gas pressure, process time, gap between electrodes, and temperature. For PI substrate, we generated the 2nd-order response surface model from which we can find out the optimum condition to minimize the pattern resolution as well as the effect of each variable. From the surface analysis, we also found that as the amount of fluorine functional group on the surface increases, the hydrophobicity increases while the surface energy decreases, resulting in improving the resolution.
#Inkjet Patterning(잉크젯 패터닝) #Surface Modification(표면처리) #PE-CVD(플라즈마 화학증착) #Design of Experiment(실험계획법) #Surface Analysis(표면분석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 과정
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
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