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저자정보
김동현 (홍익대학교) 박용철 (홍익대학교) 박승호 (홍익대학교) 권오명 최영기 이준식
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제33권 제10호
발행연도
2009.10
수록면
803 - 810 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
김동현 ,  박용철 ,  박승호 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2009.10 학술저널
마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
김동현 ,  박용철 ,  박승호 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

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Micromirrors have a wide range of applications such as optical switches, laser scanners, and digital projection displays. Due to their low performances and high costs, however, practical applications of micromirrors are quite limited. At present micromirrors demand not only a better design but also a simple fabrication process. In this study a twisting-type micromirror that can be driven by two thermal bimorph actuators bending in opposite directions is designed from electro-thermo-mechanical theories and fabricated through a simple MEMS process. Each actuator consists of SiO₂ and gold thin-film layers. Simplified analytical model has been built to optimize the performance of micromirror. Due to unexpected resistance increase of metal film and alignment mismatch during fabrication process, experimental rotation angles of micromirrors are about 11° at applied voltages less than 0.6V. From numerical simulation and analytical studies, however, the next design can provide rotation angles over 20° at the same applied voltage.
#Micromirror(마이크로 거울) #Thermal Actuator(열 구동기) #Twisting-Type(비틀림형)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 거울의 설계 및 제작
3. 실험
4. 결론
후기
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-018859432