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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구
전기학회논문지 C
2004 .02
RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석
전기학회논문지 C
2003 .08
GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Preparation of AIN Thin Films on GaAs ( 100 ) by RF Sputtering
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
2단계 증착 방법이 AIN 박막의 물성 및 체적 탄성파 소자의 특성에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 AIN박막의 우선 배향성 및 표면 탄성파 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1997 .01
고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
2㎓ 대역 RF 대역통과 필터 응용을 위한 AIN 압전 박막을 이용한 FBAR 소자
한국정보통신학회논문지
2003 .04
ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과
전기학회논문지
2007 .05
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 타겟-기판 거리의 영향에 의한 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구
열처리공학회지
2009 .01
DEGRADATION OF Zn₃N₂ FILMS PREPARED BY REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING
한국표면공학회지
1996 .10
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
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