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학술저널
저자정보
윤준서 권세훈 (부산대학교) 박인욱 (콜로라도 광업대학교) 이정두 김광호 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제5호
발행연도
2009.10
수록면
220 - 226 (7page)

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Cr-O-N coatings having different oxygen contents were deposited on Si wafer and SUS 304 substrates by an arc ion plating technique using Cr target in Ar/O₂/N₂ gaseous atmosphere. As increasing oxygen content in the coating, the microstructure of Cr-O-N coating changed from polycrystalline having NaCl structure to amorphous structure. Further increase of oxygen content resulted in phase transformation from amorphous to rhombohedral structure. From the variations of d value and average grain size, it was revealed that the maximum solubility of oxygen in Cr-O-N coating was about 21 at.%. And the maximum micro-hardness of 2751HK was obtained in this composition. The lowest friction coefficient was measured in the coating having 34.8 at.% of oxygen. However, more narrow width of wear track was found in the coating having 30.1 at.% of oxygen.
#Cr-O-N #Arc ion plating #Solid-solution #Hardness #Wear

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (30)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - G. S. Kim / 2005 / / Surf. Coat. Technol. 193 : 213 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. Creus / 1998 / / Surf. Coat. Technol. 107 : 183 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - G. T. Liu / 2005 / / Surf. Coat. Technol. 200 : 2100 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - C. Rebholz / 1999 / / Surf. Coat. Technol. 115 : 222 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - J. Bujak / 2004 / / Surf. Coat. Technol. 180 : 150 ~ google schola

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