RF 방전 플라즈마의 파라메타 제어에 의한 TiN 박막 특성

郭東周; 金斗煥; 金熙濟; 朴正后

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자료유형: 학술저널

저자정보: 郭東周金斗煥金熙濟朴正后

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌第46卷第2號

발행연도: 1997.2

수록면: 259 - 264 (6page)

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