전자빔 리소그래피를 이용한 주사기법에 따른 패턴형상 조정

오세규; 김승재; 김동환; 박근; 장동영

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 오세규 (서울산업대학교) 김승재 김동환 (서울산업대학교) 박근 장동영

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.18 No.6

발행연도: 2009.12

수록면: 558 - 564 (7page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

To aim at obtaining a correct and fine small pattern by an electron beam lithography several conditions and methods affecting a real pattern shape needs to be investigated. A micro/nano sized pattern shape is sometimes dependent on the scanning method. In this work, four types of scanning methods are implemented and their characteristics are investigated. For a 11x11um pattern, a Zigzag scanning method proves a precise pattern generation. The other ways such as SEM scanning and swirl in-out scanning method result in some distorted pattern shape. It is proved that abrupt change in the pattern generation limits to obtaining a fine and small pattern.

#Electron beam lithography(EBL)(전자빔 리소그래피) #Pattern shape(패턴 형상) #Scanning method(주사 방식) #Polymethylmethacrylate(PMMA)(레지스트)

참고문헌 (13)

참고문헌 신청

1. [단행본] - Marcel Dekker Inc / 1998 / Technology roadmap for nanoelectronics

2. [단행본] - Madou, M. j / 2001 / Fundamentals of microfabrication / CRC press : 53 ~ 57

3. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. T / 2005 / Technology of Semiconductor Industry and Development of Photoresist / Polymer Science and Technology 16 (1) : 10 ~ 16

4. [학술지(정기간행물)] - Nastaushev, Y. V / 2002 / 20-nm Resolution of electron lithography for the nano devices on ultrathin SOI film / Matrials Science and Engineering 19 : 189 ~ 192

5. [학술지(정기간행물)] - Kim, J. G / 2008 / Nano-machining Technology Using Electron Beam / Journal of the Korea Society for Precision Engineering 25 (3) : 7 ~ 14

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

오세규

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 조선해양공학

논문수 140 이용수 7,466

김승재

소속기관 에스에프에이

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 53 이용수 5,456

김동환

소속기관 경상국립대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5%

논문수 396 이용수 24,747

박근

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.1% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 306 이용수 30,282

장동영

소속기관 한국전자기계융합기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 155 이용수 10,323

이 논문과 함께 이용한 논문

나노스텐실 제작을 위한 집속이온빔 밀링 특성

김규만 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011 .02

저전압 가속 전자빔 응용 노광 특성

김재구 , 오승훈 , 조성학 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008 .11

매장 후 사람 머리털의 풍화과정에 대한 주사전자현미경적 연구

황규성 , 임도선 , 안동춘 외 2명 해부·생물인류학 2008 .09

주사전자현미경을 이용한 광물 표면에서의 강화제 피복 특성에 대한 연구

김정진 , 강용수 , 원종옥 외 3명 한국암석학회 학술발표회 논문집 2008 .05

전자 빔 리소그래피를 이용한 주사기법에 따른 패턴형상에 관한 연구

최준용 , 오세규 , 김승재 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008 .05

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-552-001552554

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (13)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)