광픽업 스캔 장치를 이용한 미소 구조물의 표면 측정

김재현; 박정열; 이승엽

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김재현 박정열 이승엽 (서강대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제34권 제1호

발행연도: 2010.1

수록면: 73 - 76 (4page)

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MEMS 기술이 발전함에 따라 MEMS 공정으로 제작된 미소 구조물들의 검사 및 특성 분석이 매우 중요한 문제로 떠오르고 있다. 그러나 주사 전자현미경(SEM)이나 원자현미경(AFM) 그리고 기계적 표면측정장치 등은 가격적인 측면에서나 방법적인 측면에서 많은 단점을 안고 있다. 본 논문에서는 DVD 광픽업 장치를 이용하여 미소구조물을 높이를 측정하였다. 미소구조물 시편에서 반사된 빛의 강도를 측정하여 시편의 영상을 만들어냈고 미소구조물의 높이는 포토다이오드에서 측정된 포커스에러신호(FES)을 통해 구할 수 있었다. 제시된 광 픽업 스캐너는 기존 측정 장치와 비교하여 저렴한 비용으로 정밀한 측정이 가능함을 보여주었고, 기존의 기술을 대체할 수 있는 시스템으로 사용될 수 있을 것이다.

#Microstructures(미소구조물) #Optical Pick-up(광 픽업) #Optical Scanner(광학 스캐너) #Surface Profiler(표면 분석기) #Auto Focus(자동 초점) #Astigmatic Lens(비점수차 렌즈)

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1. [학술지(정기간행물)] - O'Mahony, C / 2003 / Characterization of Micromechanical Structures using White-Light Interferometry / Measurement Science & Technology 14 (10) : 1807 ~ 1814

2. [학술지(정기간행물)] - Kim, K / 2007 / A New DNA Chip Detection Mechanism using Optical Pick-up Actuator / Microsystem Technologies 13 (10) : 1359 ~ 1369

3. [학술지(정기간행물)] - Kyung-Ho Kim / 2008 / DNA microarray scanner with a DVD pick-up head / Current Applied Physics 8 (6) : 687 ~ 691

4. [기타자료] - Bouwhuis, G / 1985 / Principles of Optical Disc Systems / Adam Hilger Ltd.,

5. [학술지(정기간행물)] - Hnilicka, B / 2005 / Modelling the Characteristics of a Photodetector in a DVD Player / Sensors and Actuators, A-Physical 120 (2) : 494 ~ 506

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