레이저 웨이퍼 다이싱 장비의 가공 특성 평가

한민섭 ,  김성수 ,  민병권 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

신호처리를 이용한 웨이퍼 다이싱 상태 모니터링

고경용 ,  차영엽 ,  최범식

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2000 .05

역전파 알고리즘을 이용한 웨이퍼의 다이싱 상태 모니터링

고경용 ,  차영엽 ,  최범식

제어로봇시스템학회 논문지

2000 .06

역전파 알고리즘을 이용한 웨이퍼의 다이싱 상태 예측

고경용 ,  이중호 ,  차영엽

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

GAN 웨이퍼의 다이싱

최범식 ,  차영엽

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .10

GaN 웨이퍼의 다이싱을 위한 스크라이빙 머신의 개발

차영엽 ,  고경용

제어로봇시스템학회 논문지

2002 .05

Si₃N₄ 재료의 사각홀 레이저 드릴링 기술

박진호 ,  김경한 ,  이제훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

사각 웨이퍼 범프 적용 Si3N4 가공

박진호 ,  배만수 ,  김경한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

피코세컨드 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링

노지환 ,  손현기 ,  신동식 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

레이저 다이싱 장비의 구조 동특성이 빔 안정성에 미치는 영향

박형욱 ,  노승국 ,  박종권 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

나노초 레이저를 이용한 LED 소자용 사파이어 웨이퍼 드릴링 공정

김남성 ,  정영대 ,  성천야 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

반도체 웨이퍼를 위한 새로운 다이싱 방법

차영엽 ,  최범식

대한기계학회 논문집 A권

2003 .08

유전자 알고리즘에 의한 드릴링 머신의 설계 최적화 연구

백운태 ,  성활경

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1997 .12

레이저 다이싱에 의한 die strength 분석

이용현 ,  최경진 ,  배성창

정보 및 제어 논문집

2006 .04

레이저를 이용한 드릴링 기술

황경현 ,  이성국

기계와 재료

1990 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

CO₂ 레이저를 이용한 유리의 드릴링 연구

최동혁 ,  남기문 ,  신중한

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .04

웨이퍼 비열 가공을 위한 고출력 펨토초 펄스 레이저 시스템

한승회 ,  김윤석 ,  김승만 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

초고속 레이저 드릴링 경로 최적화 알고리즘

김동수 ,  김광열 ,  최병덕 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10