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이용수
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 단위공정 시뮬레이션
Ⅲ. 문턱전압 조정을 위한 최적 이온주입 시뮬레이션
Ⅳ. n+-, p+- S/D 영역의 접합깊이 및 면저항 시뮬레이션
Ⅴ. 결론
참고문헌
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