Thickness Measurement of Sputtered BST Film using Spectroscopic Ellipsometer

홍권 ,  유용식

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometer의 개발 및 응용

이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

MURA Detection Method using a Slit-Beam-Profile Ellipsometer

Mu ,  ai ,  Hideyuki 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

슬젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막 특성 분석

유도현

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer

경재선 ,  방경윤 ,  최은호 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

솔젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막의 물성에 관한 연구

柳道鉉

전기학회논문지 C

2004 .11

N₂O 가스에서 열산화한 SiO₂막의 특성

김동석 ,  최현식 ,  서용진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

분광 타원계측기를 이용한 고굴절률 게이트 산화막의 광물성 분석

조용재 ,  조현모 ,  이윤우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .11

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

SiO2박막의 열적 질화 ( Thermal Nitridation of Thin SiO2 Film )

이용수 ,  이용현 ,  손병기

전자공학회논문지

1988 .11

$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성

김성연 ,  함문호 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

산소 이온빔을 이용한 SiO₂ 박막 후처리 연구

이승훈 ,  강용진 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

Growth and Analysis of Intermediate SiO2 for the CeO2 / SiO2 Structure

김종걸 ,  한기평 ,  송인재 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01