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최근 flexible OLED의 구동에 사용하기 위한 유기박막트랜지스터(Organic Thin Film Transistor, OTFT)의 연구에서는 용매에 용해되어 spin coating이 가능한 재료의 개발에 관심을 두고 있다. 현재 pentacene으로는 아직 spin coating으로 제작할 수 있는 상용화된 제품이 없고 spin coating이 가능한 활성층 물질(active material)로 P3HT가 쓰이고 있다. 본 연구에서는 용해 가능한 P3HT 활성층 물질과 여러 종류의 용해 가능한 게이트 절연물(gate insulator, GI)을 사용하여 안정된 소자를 구현할 수 있는 공정을 개발하는 목적으로 metal- insulator-semiconductor(MIS) 소자를 제작하여 C-V 특성을 측정하고 분석하였다. 먼저 7㎜×7㎜ 크기의 pyrex glass 시편 위에 바닥 전극으로 1600Å Au을 증착하고 spin coating 방식을 이용하여 PVP, PVA, PVK, BCB, PI의 5종류의 게이트 절연층을 각각 형성하였고 그 위에 같은 방법으로 P3HT를 코팅하였다. P3HT 코팅 시 bake 공정의 유무와 sprin rp ... 전체 초록 보기

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