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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실리콘 선택적 기상 성장 기술
3. 마이크로 센서를 위한 실리콘 선택적 성장의 응용
4. 결론
5. 참고문헌
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1992 .01
Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD
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실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
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MEMS 기술의 광학적 응용
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전기학회논문지 C
2002 .06
EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
자동차용 MEMS 센서
대한기계학회 춘추학술대회
2002 .02
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