SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

SOI 소자를 위한 공정 기초연구

민석기 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

SOI MOS 소자의 제조 ( The Fabrication of SOI MOS device )

조찬섭 ,  양천순 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Ground Plane SOI MOSFET의 단채널 현상 개선

장성준 ,  윤세레나 ,  유종근 외 3명

전자공학회논문지-SD

2004 .04

n채널 SOI MOSFET의 제작과 특성 ( Fabrication and Characterization of the N-Channel SOI MOSFET )

윤석범 ,  김춘근 ,  민석기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구

김석구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회지

2004 .01

Fabrication of High Performance Pressure Sensor Using SOI Technology

Se Gon Choi

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1991 .01

Bonded SOI 웨이퍼 제조를 위한 기초연구

문도민 ,  강성건 ,  류근걸 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers n Pseudo MOS Transistor

손주환 ,  민병호 ,  권종성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

SOI 응용을 위한 반도체-원자 초격자 구조의 특성

徐龍辰

전기학회논문지 C

2004 .06

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11