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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1996년도 하계학술대회 논문집 C
발행연도
1996.7
수록면
1,428 - 1,430 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

레이저 CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 기판세정법에 따른 특성에 관한 연구
김창덕 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 1997.07 학술대회자료

1996

Laser CVD법에 의해 퇴적된 OXYNITRIDE막의 특성에 관한 고찰
김창덕 ,  신상우 ,  정문남 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 1996.07 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. Laser CVD 장치의 구성
3. 실험 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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