단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정

閔英薰 ,  金容權

전기학회논문지 C

1999 .01

혼합 마이크로머시닝기술을 이용한 다층전극구조의 정전렌즈 제작 ( Fabrication of multi-layered electrostatic lens by mixed micromachining technology )

이용재 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .09

다결정 실리콘 마이크로머시닝 제작 시 폴리머 지지를 이용한 옆 방향 점착방지 방법의 제안

임형택 ,  윤충현 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

마이크로머시닝 기술

이응숙 ,  이성국 ,  황경현

기계와 재료

1995 .01

UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술

양성빈 ,  장원석 ,  김재구 외 2명

소성·가공

2004 .04

Characteristics measurement of fabricated micromirror array with vertical springs

Jong-Woo Shin ,  Yong-Kweon Kim ,  Jin-Goo Pa 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

광 저장장치 응용을 위한 마이크로 미러의 제작과 그 특성

이우영 ,  장영조 ,  서화일 외 2명

센서학회지

2002 .01

UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발

양성빈 ,  장원석 ,  김재구 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2004 .05

Micromachining 기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

전기의세계

1993 .11

마이크로 UV 성형을 통한 초소형 광픽업용 마이크로 미러 어레이 제작

최용 ,  임지석 ,  김석민 외 3명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2005 .05

대형화상 표시장치용 마이크로 미러 어레이의 제작과 특성 측정 ( Fabrication and Mesurement of Micro Mirror Array for Large Screen Display )

신종우 ,  김용권

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

대형화상 표시장치용 마이크로 미러 어레이의 제작과 특성 측정 ( Fabrication and Mesurement of Micro Mirror Array for Large Screen Display )

신종우 ,  김용권

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

마이크로 가공기술의 현황과 미래의 마이크로 시스템 ( Progress in Micromachining and Future Micro System )

최준림

대한기계학회지

1993 .06

화상처리용 마이크로 미러의 동특성 측정기술

이은호 ,  김규로

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

마이크로 UV 성형을 통항 초소형 광픽업용 마이크로 미러 어레이 제작

최용 ,  임지석 ,  김석민 외 3명

소성·가공

2005 .08

대용량 광 스위치를 위한 2축 자유도 마이크로 미러

김태식 ,  이상신

전자공학회논문지-SD

2003 .08

마이크로머시닝을 이용한 세포 융합 기구에 관한 연구

이상욱 ,  김용권 ,  김호성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

정전력을 이용한 마이크로 펌프

尹龍逵 ,  金容權

전기학회논문지

1994 .12

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03