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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
허정철 (한국과학기술원) 김광섭 (한국과학기술원) 김경웅 (한국과학기술원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2007년도 제44회 춘계학술대회
발행연도
2007.6
수록면
48 - 54 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

AFM을 이용한 MEMS/NEMS 공정용 재료의 트라이볼로지 특성에 관한 연구
허정철 ,  김광섭 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2008.04 학술저널

2007

AFM을 이용한 MEMS/NEMS 공정용 재료의 트라이볼로지 특성
허정철 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2007.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Friction and adhesion tests were conducted to study tribological characteristics of materials for MEMS/NEMS using an Atomic Force Microscope (AFM). AFM Si tips were chemically modified with self-assembled monolayer (SAM) derived from trichlorosilane like OTS and FOTS, and various materials such as Si, Al, Au, Cu, Ti and PMMA were prepared for the tests. SAMs were coated by dipping method and they were coated on Si wafer prior to AFM tip to determine a proper dipping condition. The proper dipping condition was determined by the results of contact angle, surface energy and thickness of SAM on Si wafer. AFM tips were then modified with SAMs at the same condition. The friction and adhesion forces between AFM Si tip modified with SAM and MEMS/NEMS materials were measured and compared to those forces when AFM tip was uncoated. According to the results, after coating OTS and FOTS on Si tip, the friction and adhesion forces on the most of materials decreased; however, the effect of SAM on the reduction of friction and adhesion could be changed with counterpart materials. Therefore, the adequate application of SAM would be required to effectively reduce friction and adhesion on each material for MEMS/NEMS.
#Self-Assembled Monolayer #MEM/NEMS materials #Atomic Force Microscope #Adhesion #Friction

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

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