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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박경진 (중앙대학교) 강성묵 (중앙대학교) 백창욱 (중앙대학교) 김호성 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제58권 제11호
발행연도
2009.11
수록면
2,247 - 2,252 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

MEMS Gyroscope를 위한 feed-through 노이즈 제거 기법
박경진 ,  강성묵 ,  백창욱 외 1명 전기학회논문지 2009.11 학술저널
MEMS Gyroscope를 위한 feed-through 노이즈 제거 기법
박경진 ,  강성묵 ,  김호성 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료

초록· 키워드

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Since the dimensions of MEMS gyroscope are very small compared to those of conventional gyroscope, MEMS gyroscope should be able to measure charge of pico-coulomb caused by very small change of electrodes gap. However, feed-through signal from driving electrodes to the sensing electrodes due to the electromagnetic coupling is much greater than the sensing signal, which degrades the sensitivity of MEMS gyroscope. This paper introduces the feed-through noise canceling technique using dummy port and confirms the feasibility of feed-through noise canceling experimentally. Experimental results shows that, when driving signal is 6 Vpp, 30 ㎑, feed-through signal of vacuum packaged Si Gyroscope decreases from -53.2 ㏈m to -77.1 ㏈m by using feed-through reduction technique. Q-factor that could not be measured without noise reduction is measured to be about 2500 and resonance frequency to be 7.018 ㎑.
#MEMS Gyroscope #Feed-through #Noise reduction #Q-factor

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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