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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이기정 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제59권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
138 - 143 (6page)

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2010

압력평형메커니즘을 이용한 초소형 수동형 기체 압력조정기
이기정 ,  양상식 전기학회논문지 2010.01 학술저널

2008

초소형 수동형 유체 압력 조정기 제작 및 실험
이기정 ,  임인호 ,  심우영 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.07 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper presents the analysis, the fabrication and the test results of a micro passive gas pressure regulator to keep the outlet pressure costant even for a widely-varying inlet pressure. This device is to regulate the outlet pressure according to the applied reference pressure based on the pressure balancing mechanism of the structure including a membrane and a valve. This regulator consists of four layers; a bulk-micromachined silicon substrate, a sandblasted glass substrate, a PDMS valve seat layer and a glass valve layer. The device size is 10 × 13 × 1.7 ㎣. The device was fabricated by micromachining. The characteristic of the device was analyzed and tested. The characteristic of the fabricated pressure regulator is similar to that obtained from the analysis. The pressure regulator of this paper is feasible for portable systems and miniature drug delivery systems.
#Passive #Ppressure regulator #Pressure balancing mechanism #Membrane

목차

Abstract
1. 서론
2. 구조 및 작동원리
3. 압력조정기의 제작
4. 압력조정기의 특성 해석
5. 압력조정기의 실험 결과 및 토의
6. 결론
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